XRF指X射線熒光，是一種識別樣品中元素類型和數(shù)量的技術(shù)。用于在整個電鍍行業(yè)范圍內(nèi)驗證鍍層的厚度和成分。其基本的無損性質(zhì)，加上快速測量和結(jié)構(gòu)緊湊的臺式儀器等優(yōu)點，能實現(xiàn)現(xiàn)場分析并立即得到結(jié)果。
對于鍍層分析，XRF鍍層測厚儀將此信息轉(zhuǎn)換為厚度測量值。在進行測量時，X射線管產(chǎn)生的高能量x射線通過光圈聚集，并照射在樣品非常小的區(qū)域(該區(qū)域的大小為光斑尺寸)。這些X射線與光斑內(nèi)元素的原子相互作用。
XRF鍍層測厚儀的主要部件組成為X射線管、光圈、探測器、對焦系統(tǒng)、相機以及樣品臺。X射線管是儀器的一部分，產(chǎn)生照射樣品的X射線。光圈是引導(dǎo)X射線指向樣品的裝置的第一部分。
XRF儀器中的光圈將決光斑尺寸，正確的光圈選擇對精密度和測量效率至關(guān)重要。探測器與相關(guān)電子設(shè)備一并處理從樣品中激發(fā)出的X射線。
XRF鍍層測厚儀對焦系統(tǒng)確保每次測量中X射線管、零部件和探測器間的X射線可測量且?guī)缀喂饴愤B續(xù)一致;否則會導(dǎo)致結(jié)果不準確。
XRF鍍層測厚儀相機幫助用戶精確定位測量區(qū)域。某些情形下相機用于向自動操作模塊提供圖像信息，或包括放大圖像以精確定位需要測量的區(qū)域。樣品可放置于固定或可移動的XRF鍍層測厚儀樣品臺上?？焖倩蚵僖苿訉τ谡业綔y試位置至關(guān)重要，隨后聚焦于準確的區(qū)域進行測量。工作臺移動的精準度是帶來測試定位準確的一個因素，并進而貢獻于儀器的整體準確度。
XRF技術(shù)的最小檢測厚度為大約1nm。如果低于這個水平，則相應(yīng)的特征X射線會淹沒于噪聲信號中，無法對其進行識別。最大范圍約為50μm左右。如果在該水平之上，則鍍層厚度將導(dǎo)致內(nèi)層發(fā)射的X射線無法穿透鍍層而到達探測器。即厚度的任何進一步增加都不會導(dǎo)致更多的X射線到達探測器，因此厚度達到飽和無法測出變化。
